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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】关于微纳加工的问题（急！）
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xiaofan700

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】关于微纳加工的问题（急！）

想加工出100纳米-5微米的微纳结构，请问用什么技术合适呢？（加工硅片，高分子材料均可）该技术能够加工的最大尺寸是多少呢？（50mm*50mm可否达到？）
还有就是哪里可以提供这样的加工呢？
本人为化学出身，对微电子和微纳结构基本不懂。只是课题方向为研究高分子表面的微结构对吸附的影响，需要寻找加工好的微纳米结构的模板。还望各位虫友指教！不胜感激！！！

[ Last edited by xiaofan700 on 2009-2-26 at 16:59 ]
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1楼 2009-02-26 16:58:06
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quanbaogang

木虫 (正式写手)
我已经把我的邮箱给你了，你通过邮件联系我吧！
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8楼2009-03-06 08:21:59
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memser

★
wdwsnnu(金币+1,VIP+0):3x,欢迎常来 2-26 18:13
中科院上海微系统所啊～～～
具体联系方式见页面：http://www.sim.ac.cn/wxtgy/index.htm

[ Last edited by memser on 2009-2-26 at 17:31 ]
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2楼2009-02-26 17:30:07
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quanbaogang

木虫 (正式写手)
★
大笨猪和聪明羊(金币+1,VIP+0):欢迎参与讨论^_^ 2-27 11:30
一个微米以上可以用光刻（当然国内都是接触式曝光）实现；100~1000nm只能用电子束曝光了，因为投影光刻只是在工厂才有。如果你要100nm~5um的图案在一个样品上实现，一般解决方法为套刻，即电子束曝光和紫外光刻结合。另外电子束曝光实现你说的2英寸面积的样品制作有些费时间。

楼主要拿出很多钱来啊！

具体的图像和方案拿出来大家讨论吧！
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3楼2009-02-27 10:09:01
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nano-man

★
kqy920(金币+1):谢谢应助！
我这边曾经有人做过,我不知道你做什么材料,你要考虑好这种材料在电极做好后是不是很好接触,这和材料有关系的
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4楼2009-02-27 10:26:12
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