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xiaofan700铁杆木虫 (正式写手)
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[交流]
【求助】关于微纳加工的问题（急！）
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想加工出100纳米-5微米的微纳结构，请问用什么技术合适呢？（加工硅片，高分子材料均可）该技术能够加工的最大尺寸是多少呢？（50mm*50mm可否达到？） 还有就是哪里可以提供这样的加工呢？ 本人为化学出身，对微电子和微纳结构基本不懂。只是课题方向为研究高分子表面的微结构对吸附的影响，需要寻找加工好的微纳米结构的模板。还望各位虫友指教！不胜感激！！！ [ Last edited by xiaofan700 on 2009-2-26 at 16:59 ] |
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quanbaogang
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6楼2009-03-02 09:38:48
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中科院上海微系统所啊～～～ 具体联系方式见页面：http://www.sim.ac.cn/wxtgy/index.htm [ Last edited by memser on 2009-2-26 at 17:31 ] |
2楼2009-02-26 17:30:07
quanbaogang
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