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半导体28nm栅极工艺请教 已有1人参与
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在网上看找的28nm工艺介绍，看到用了金属栅极以后，仍然在金属栅极上加了一层多晶硅栅极，请问下这个是做什么用的？ 谁有28nm工艺介绍的资料，求分享学习一下，网上的比较零散，感谢。 |
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2楼2018-01-09 08:56:04
3楼2020-03-11 21:46:15
yyt_tyy
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4楼2020-06-27 00:59:37