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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 半导体28nm栅极工艺请教
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hasong

铜虫 (初入文坛)

[求助] 半导体28nm栅极工艺请教 已有1人参与

在网上看找的28nm工艺介绍，看到用了金属栅极以后，仍然在金属栅极上加了一层多晶硅栅极，请问下这个是做什么用的？
谁有28nm工艺介绍的资料，求分享学习一下，网上的比较零散，感谢。
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1楼 2017-12-03 10:45:25
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非、過

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

作为两个mos的局部互连线，再做contact，避免伤到gate。
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2楼2018-01-09 08:56:04
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一只考研的猪

铜虫 (小有名气)
可能是silicide ,先进制成中栅有salicide  和policide. 降低方块电阻

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3楼2020-03-11 21:46:15
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yyt_tyy

新虫 (小有名气)
dummy？

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4楼2020-06-27 00:59:37
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