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关于沉积SiOx:H薄膜钝化硅片所用到的材料
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求助，我想问下沉积SiOx:H钝化硅片的话，用什么做氧源比较好，是CO2还是N2O还是O2？以及硅片的选择等要用到的所有材料都有哪些？纯度及价格等相关信息，对这方面不太了解，还请各位多多帮助！ |
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