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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 请教，磁控溅射CrN的毒性
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alexwang123

铜虫 (初入文坛)

[求助] 请教，磁控溅射CrN的毒性 已有2人参与

请问，采用磁控溅射方式镀氮化铬（铬金属靶材，氮气参与反应），一般得到的是几价的铬，是否会存在6价铬？

谢谢
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磁控溅射镀膜工艺

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1楼 2017-11-27 15:37:14
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
alexwang123: 金币+2, ★有帮助, 主要想请教在镀膜过程中是否会产生六价铬，是否会随着真空泵将六价铬化合物排放到空气中，以及开腔体保养时，是否会有六价铬化合物粉尘。 2017-12-08 11:01:13
可使用X射线光电子能谱仪（XPS）对镀膜中的铬离子和氮离子的化合价进行检测。
赞一下 回复此楼
2楼2017-11-28 15:14:28
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
alexwang123: 金币+3, ★★★很有帮助, 主要想请教在镀膜过程中是否会产生六价铬，是否会随着真空泵将六价铬化合物排放到空气中，以及开腔体保养时，是否会有六价铬化合物粉尘。 2017-12-08 11:01:32
三价呀，CrN没有毒性
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
3楼2017-12-04 15:56:29
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利福光电

新虫 (小有名气)
氮化铬一般是CrN/Cr2N混合相，常见的比例有1：1和4：1两种，也就是常说的Cr3N2和CrN，没有见到毒性相关的报导，靶材是否可以直接选择氮化铬，不清楚铬金属和氮气在溅射过程中是否能形成高纯度CrN
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致力于高纯金属氮化物、氟化物、硼化物材料研发生产
4楼2018-03-20 22:04:10
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