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alexwang123

铜虫 (初入文坛)

[求助] 请教,磁控溅射CrN的毒性 已有2人参与

请问,采用磁控溅射方式镀氮化铬(铬金属靶材,氮气参与反应),一般得到的是几价的铬,是否会存在6价铬?

谢谢
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磁控溅射镀膜工艺

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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
alexwang123: 金币+2, 有帮助, 主要想请教在镀膜过程中是否会产生六价铬,是否会随着真空泵将六价铬化合物排放到空气中,以及开腔体保养时,是否会有六价铬化合物粉尘。 2017-12-08 11:01:13
可使用X射线光电子能谱仪(XPS)对镀膜中的铬离子和氮离子的化合价进行检测。
2楼2017-11-28 15:14:28
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
alexwang123: 金币+3, ★★★很有帮助, 主要想请教在镀膜过程中是否会产生六价铬,是否会随着真空泵将六价铬化合物排放到空气中,以及开腔体保养时,是否会有六价铬化合物粉尘。 2017-12-08 11:01:32
三价呀,CrN没有毒性
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
3楼2017-12-04 15:56:29
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利福光电

新虫 (小有名气)

氮化铬一般是CrN/Cr2N混合相,常见的比例有1:1和4:1两种,也就是常说的Cr3N2和CrN,没有见到毒性相关的报导,靶材是否可以直接选择氮化铬,不清楚铬金属和氮气在溅射过程中是否能形成高纯度CrN
致力于高纯金属氮化物、氟化物、硼化物材料研发生产
4楼2018-03-20 22:04:10
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