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ws4231153

新虫 (小有名气)

[求助] 关于eds测量的疑惑

题主用eds测量薄膜组分,退火少的含量看起来还比较理想,可是200度退火后薄膜的含量相对减少了,衬底的si含量增加了不少,考虑了材料蒸发的原因,但是200度远远不足以使起蒸发,有大神遇到类似的情况吗,写文章用来不知道如何解释这一点了

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