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求教关于ALD原子层沉积
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niu254
银虫
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专业: 金属材料
[交流]
求教关于ALD原子层沉积
已有7人参与
想用原子层沉积做金Au,简单查下百度,好像没有做金的,只有铂,铜,镍之类。请问有做金的同行吗?
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1楼
2017-11-11 11:45:48
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niu254
银虫
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专业: 金属材料
引用回帖:
5楼
:
Originally posted by
liukainan
at 2017-11-15 08:45:43
在贵金属ALD沉积中, Pt, Ag的比较多。对于Au来说,缺少热稳定且具有足够挥发分压的前驱体,相关文章请关注Chem. Mater. 2016, 28, 44-46以及Chem. Mater. 2017, 29, 6130-6136.
谢谢您了。
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6楼
2017-11-19 12:12:45
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hmimyboy
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专业: 半导体晶体与薄膜材料
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
没做过。有金的源吗?
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2楼
2017-11-11 11:55:40
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091820053
禁虫
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3楼
2017-11-11 12:09:04
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gxytju2008
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性别: GG
专业: 材料物理化学
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★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
要合成前体,有篇CM有报道
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4楼
2017-11-11 12:57:57
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