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求教关于ALD原子层沉积
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niu254
银虫
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[交流]
求教关于ALD原子层沉积
已有7人参与
想用原子层沉积做金Au,简单查下百度,好像没有做金的,只有铂,铜,镍之类。请问有做金的同行吗?
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2017-11-11 11:45:48
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hmimyboy
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没做过。有金的源吗?
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2017-11-11 11:55:40
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091820053
禁虫
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3楼
2017-11-11 12:09:04
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gxytju2008
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要合成前体,有篇CM有报道
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4楼
2017-11-11 12:57:57
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liukainan
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在贵金属ALD沉积中, Pt, Ag的比较多。对于Au来说,缺少热稳定且具有足够挥发分压的前驱体,相关文章请关注Chem. Mater. 2016, 28, 44-46以及Chem. Mater. 2017, 29, 6130-6136.
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执子之手,共你一世风霜!
5楼
2017-11-15 08:45:43
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niu254
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5楼
:
Originally posted by
liukainan
at 2017-11-15 08:45:43
在贵金属ALD沉积中, Pt, Ag的比较多。对于Au来说,缺少热稳定且具有足够挥发分压的前驱体,相关文章请关注Chem. Mater. 2016, 28, 44-46以及Chem. Mater. 2017, 29, 6130-6136.
谢谢您了。
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6楼
2017-11-19 12:12:45
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zkzm
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引用回帖:
5楼
:
Originally posted by
liukainan
at 2017-11-15 08:45:43
在贵金属ALD沉积中, Pt, Ag的比较多。对于Au来说,缺少热稳定且具有足够挥发分压的前驱体,相关文章请关注Chem. Mater. 2016, 28, 44-46以及Chem. Mater. 2017, 29, 6130-6136.
这个2017年的文献 中Au前驱体 您知道哪有卖的吗? ---文章中使他们自己合成的吧?谢谢
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青春 大学 理想 人生 现实
7楼
2017-11-21 09:35:34
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金前驱体市场上很少而且非常贵,Strem公司好像只有两种金源适用于ALD.欢迎交流
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8楼
2017-12-27 21:51:49
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小目蟲
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中南大学刘老师可以哟
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9楼
2019-05-08 09:44:40
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