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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 一些微纳器件的形貌和运动参数全息法检测（硅麦、微执行器、薄膜）
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lyncee

新虫 (初入文坛)

[交流] 一些微纳器件的形貌和运动参数全息法检测（硅麦、微执行器、薄膜） 已有2人参与

MEMS测振
1、MEMS麦克风
与频闪同步采集麦克风激发时序图。可以对它们中的每一个进行完整的振动分析。
视野：1*1mm
横向分辨率：0.5μm
每激励周期记录32幅形貌图
10×10拼接：每个形貌测量具有超高分辨率30 MPX
薄硅膜（＜1μm）
一些微纳器件的形貌和运动参数全息法检测（硅麦、微执行器、薄膜）
一些微纳器件的形貌和运动参数全息法检测（硅麦、微执行器、薄膜）-1
2、压电执行器
采用4路正弦电源相位分别相差90°，在器件上激发出一个行波，分别检测xyz方向实时振幅和位移已经形貌时序图
一些微纳器件的形貌和运动参数全息法检测（硅麦、微执行器、薄膜）-2
一些微纳器件的形貌和运动参数全息法检测（硅麦、微执行器、薄膜）-3
3、激光孔形貌
一些微纳器件的形貌和运动参数全息法检测（硅麦、微执行器、薄膜）-4
4、测量分析石墨烯薄膜受力形变
一些微纳器件的形貌和运动参数全息法检测（硅麦、微执行器、薄膜）-5


一些微纳器件的形貌和运动参数全息法检测（硅麦、微执行器、薄膜）-6
-MEMS 分析工具.jpg
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1楼 2017-11-10 17:42:06
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findwind

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
自己研发的新系统？

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别想太多，每天过的开心一点，justsmile！
2楼2017-11-10 20:51:19
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lyncee

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by findwind at 2017-11-10 20:51:19
自己研发的新系统？

不是，用DHM帮人检测的器件。
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3楼2017-11-13 10:57:18
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nwpuwang

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
牛，有没有试用版软件给试试效果

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4楼2017-11-21 18:40:54
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lyncee

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by nwpuwang at 2017-11-21 18:40:54
牛，有没有试用版软件给试试效果

这个MEMS分析软件是配合硬件进行测量的，没有单独的
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5楼2017-11-24 09:05:47
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nwpuwang

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
5楼: Originally posted by lyncee at 2017-11-24 09:05:47
这个MEMS分析软件是配合硬件进行测量的，没有单独的...

没有安装包么，有个安装包试试看也可以呀。对这个十分有兴趣。

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6楼2017-11-24 15:51:44
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lyncee

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by nwpuwang at 2017-11-24 15:51:44
没有安装包么，有个安装包试试看也可以呀。对这个十分有兴趣。
...

不好意思，这个确实没有安装包，软件功能都是选配的，而且专用软件确实没法单独用
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7楼2017-12-07 08:50:34
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