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一些微纳器件的形貌和运动参数全息法检测（硅麦、微执行器、薄膜） 已有2人参与
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MEMS测振 1、MEMS麦克风 与频闪同步采集麦克风激发时序图。可以对它们中的每一个进行完整的振动分析。 视野：1*1mm 横向分辨率：0.5μm 每激励周期记录32幅形貌图 10×10拼接：每个形貌测量具有超高分辨率30 MPX 薄硅膜（＜1μm）   2、压电执行器 采用4路正弦电源相位分别相差90°，在器件上激发出一个行波，分别检测xyz方向实时振幅和位移已经形貌时序图   3、激光孔形貌  4、测量分析石墨烯薄膜受力形变    -MEMS 分析工具.jpg |
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