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lsyguanghua

银虫 (初入文坛)

[交流] CVD表面粗糙

为什么CVD生长碳化硅,涂层的表面总是很粗糙?有遇到过类似的问题的吗?总是有一个一个小圆球的沙子状的颗粒附着在四周,但我每次都把内壁清洁干净的,应该不至于基材或者内壁产生的颗粒。别人用同样的方法做,都是光溜溜的面。
求教
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想飞上天
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445101273

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
Cvd生长的碳化硅本身就有球型的

发自小木虫Android客户端
4楼2018-12-13 20:34:17
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残荷听雨xxj

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
不知道题主这个问题解决了没有啊?
2楼2018-02-26 13:48:52
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lsyguanghua

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 残荷听雨xxj at 2018-02-26 13:48:52
不知道题主这个问题解决了没有啊?

没呢
想飞上天
3楼2018-12-12 08:55:47
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米娜阳光

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
如果是电弧或者热丝CVD法应该是比较容易出现表面粗化~微波法不容易,你可以试试。

发自小木虫Android客户端
5楼2018-12-14 16:46:55
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