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lsyguanghua银虫 (初入文坛)
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CVD表面粗糙
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为什么CVD生长碳化硅，涂层的表面总是很粗糙？有遇到过类似的问题的吗？总是有一个一个小圆球的沙子状的颗粒附着在四周，但我每次都把内壁清洁干净的，应该不至于基材或者内壁产生的颗粒。别人用同样的方法做，都是光溜溜的面。 求教  |
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