24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 658  |  回复: 4

386992525

木虫 (正式写手)

[求助] 硅片表面粗糙化的方法 已有1人参与

需要制备具有不同粗糙度的硅片。请问各位大神用什么方法比较方便!
用HF或者KOH刻蚀可行吗?
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
386992525: 金币+20, ★★★很有帮助, 非常感谢! 2017-11-01 18:58:21
HF对Si,Ti等溶解性很强,强碱对不同晶面的Si的溶解速度存在差异,因此,这两种试剂都可以粗面化Si表面,但需要试验,考察浓度、温度和时间的影响。
Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
2楼2017-11-01 18:03:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

386992525

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Jackcd12 at 2017-11-01 18:03:52
HF对Si,Ti等溶解性很强,强碱对不同晶面的Si的溶解速度存在差异,因此,这两种试剂都可以粗面化Si表面,但需要试验,考察浓度、温度和时间的影响。

另外,比如KOH对硅片表面刻蚀表面孔的深度一般能达到多少?
我只需要10 -20 nm 的孔深度
3楼2017-11-01 18:59:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 386992525 at 2017-11-01 18:59:30
另外,比如KOH对硅片表面刻蚀表面孔的深度一般能达到多少?
我只需要10 -20 nm 的孔深度...

与你用的KOH的浓度,温度和时间有关,如果用6-10M KOH, 30-50C, 10min 左右就可以到达10-20nm,这需要多摸索。

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
4楼2017-11-01 20:23:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

386992525

木虫 (正式写手)

送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by Jackcd12 at 2017-11-01 20:23:28
与你用的KOH的浓度,温度和时间有关,如果用6-10M KOH, 30-50C, 10min 左右就可以到达10-20nm,这需要多摸索。...

好的 谢谢!
5楼2017-11-17 13:56:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 386992525 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 今年审到国自然15份,谈谈感受 +17 国自然国社科中 2026-05-17 18/900 2026-05-20 00:03 by kksky
[考博] 26/27博士推荐 +4 1木头人13949 2026-05-13 5/250 2026-05-19 23:41 by 1木头人13949
[基金申请] 评审有感 +11 popular289 2026-05-18 19/950 2026-05-19 23:09 by popular289
[文学芳草园] 献血感触 +6 呀呀好傻 2026-05-19 11/550 2026-05-19 22:26 by 而立得乐
[教师之家] 上海大学实验技术岗位非升即走 +11 嘻嘻哈哈乐呵呵 2026-05-15 12/600 2026-05-19 22:17 by otani
[有机交流] 如何实现卤原子转化 +3 BT20230424 2026-05-15 7/350 2026-05-19 19:23 by bencaidai
[论文投稿] Sci. Bull. 悲剧经验 +4 jyang1999 2026-05-16 4/200 2026-05-19 10:56 by maolC
[考博] 26/27申博自荐-锂/钠电池方向 5+3 狗头军师. 2026-05-15 4/200 2026-05-19 09:10 by moonboat
[基金申请] 同样的基金本子,换个专家直接从C变A! +3 国自然国社科中 2026-05-19 3/150 2026-05-19 08:50 by Equinoxhua
[基金申请] 别被青基扩招骗了!26年科研内卷才刚刚开始 +3 国自然国社科中 2026-05-14 4/200 2026-05-19 08:48 by archvillain
[考博] 2026博士还有哪些学校有名额 +7 小王求读研 2026-05-15 8/400 2026-05-19 08:27 by zhyzzh
[基金申请] 面上本子正文33页,违规吗?会被低分嘛? +8 1234567wang 2026-05-17 10/500 2026-05-18 18:52 by zzahkj
[基金申请] 国自然上会要求 +5 无名者登山 2026-05-18 9/450 2026-05-18 17:50 by BlakeReary
[基金申请] 青C资助名额大幅增加! +12 西葫芦炒鸡蛋 2026-05-13 16/800 2026-05-18 10:02 by Equinoxhua
[硕博家园] 我在等一个没有答案的答案 +3 Love_MH 2026-05-17 3/150 2026-05-18 02:22 by 竹林孤影
[文学芳草园] 半夜喝咖啡 +3 myrtle 2026-05-15 5/250 2026-05-18 01:03 by 小沈2018
[考博] 光量子物理方向 博士招生 1人(2026.09) +3 sandyworld 2026-05-15 4/200 2026-05-17 14:38 by sandyworld
[有机交流] 求助2,4-二氯-5-嘧啶甲醛的合成方法 20+3 光吃不拉 2026-05-14 6/300 2026-05-16 19:46 by Equinoxhua
[教师之家] 教学课件你会给同学吗 +8 硕士研究生吗 2026-05-13 8/400 2026-05-14 22:23 by 常规沥青
[考博] 26应届毕业生考博求助 +3 wo一定上岸 2026-05-13 3/150 2026-05-14 21:47 by 明海天涯
信息提示
请填处理意见