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wwmh

新虫 (初入文坛)

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[交流] RIE设备问题已有1人参与

RIE设备刻蚀速率降低的可能原因都有哪些？如何找回速率？

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1楼 2017-10-27 14:56:18

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新虫 (初入文坛)

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专业: 催化化学

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

您好，请问您方便提供RIE设备的型号价格以及参数么？我们最近在考察这个RIE设备。

2楼2018-09-25 17:08:38

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