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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 基础物理 » RIE设备问题
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新虫 (初入文坛)

[交流] RIE设备问题 已有1人参与

RIE设备刻蚀速率降低的可能原因都有哪些？如何找回速率？
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1楼 2017-10-27 14:56:18
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wwwtztv

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
您好，请问您方便提供RIE设备的型号价格以及参数么？我们最近在考察这个RIE设备。
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2楼2018-09-25 17:08:38
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