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吴铭2016

新虫 (小有名气)

[交流] 有用射频电源磁控溅射镀膜的同行吗?怎么提高自偏压 已有2人参与

有用射频电源磁控溅射镀膜的同行吗?怎么提高自偏压?

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吴铭2016

新虫 (小有名气)

引用回帖:
1楼: Originally posted by 吴铭2016 at 2017-10-26 20:24:13
有用射频电源磁控溅射镀膜的同行吗?怎么提高自偏压?

有用射频电源磁控溅射镀膜的同行吗?怎么提高自偏压??

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只想安静的当一个材料人
2楼2017-10-26 20:24:40
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su1227

新虫 (小有名气)

3楼2017-10-26 20:33:12
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吴铭2016

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by su1227 at 2017-10-26 20:33:12
提升功率不行吗

电压1000V,电流0.2A,自偏压只有100V,不敢把功率弄得太高,有没有别的方法?我溅射氮化铝~~

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只想安静的当一个材料人
4楼2017-10-26 20:38:45
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su1227

新虫 (小有名气)

5楼2017-10-26 22:32:02
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吴铭2016

新虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by su1227 at 2017-10-26 22:32:02
压强呢

感觉气压调大调小变化不大~~

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只想安静的当一个材料人
6楼2017-10-27 09:01:03
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野人禾禾

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
提高自偏压的目的是什么呢
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
7楼2017-11-16 17:20:13
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