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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 有用射频电源磁控溅射镀膜的同行吗？怎么提高自偏压
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吴铭2016

新虫 (小有名气)

[交流] 有用射频电源磁控溅射镀膜的同行吗？怎么提高自偏压 已有2人参与

有用射频电源磁控溅射镀膜的同行吗？怎么提高自偏压？

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只想安静的当一个材料人
1楼 2017-10-26 20:24:13
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吴铭2016

新虫 (小有名气)
引用回帖:
1楼: Originally posted by 吴铭2016 at 2017-10-26 20:24:13
有用射频电源磁控溅射镀膜的同行吗？怎么提高自偏压？

有用射频电源磁控溅射镀膜的同行吗？怎么提高自偏压？？

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只想安静的当一个材料人
2楼2017-10-26 20:24:40
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su1227

新虫 (小有名气)
提升功率不行吗

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3楼2017-10-26 20:33:12
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吴铭2016

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by su1227 at 2017-10-26 20:33:12
提升功率不行吗

电压1000V，电流0.2A，自偏压只有100V，不敢把功率弄得太高，有没有别的方法？我溅射氮化铝～～

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只想安静的当一个材料人
4楼2017-10-26 20:38:45
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su1227

新虫 (小有名气)
压强呢

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5楼2017-10-26 22:32:02
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吴铭2016

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by su1227 at 2017-10-26 22:32:02
压强呢

感觉气压调大调小变化不大～～

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只想安静的当一个材料人
6楼2017-10-27 09:01:03
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
提高自偏压的目的是什么呢
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
7楼2017-11-16 17:20:13
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