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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 国内有哪些单位可采用原子层沉积技术制备Pt金属纳米粒子
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云淡风轻520

木虫 (正式写手)

[交流] 国内有哪些单位可采用原子层沉积技术制备Pt金属纳米粒子

需要在膜上制备Pt纳米层，想采用原子层沉积法制备，但是由于基体不耐高温，因此最高制备温度要低于130℃，请问哪些单位可以做，并能外协加工的。谢谢
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1楼2017-10-24 21:15:24
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OpticalSDUT

木虫 (正式写手)
★
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
中科院微电子所，可以咨询一下夏老师
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22楼2017-10-29 15:54:05
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598878157

版主 (文学泰斗)
★
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
很多

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10楼2017-10-24 22:14:30
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huquan7213

金虫 (初入文坛)
★
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
你先找文献看看，有没有在这个温度下长的，据我所知似乎是没有在此温度下沉积Pt的

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11楼2017-10-24 22:30:53
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nicenicey2楼
2017-10-24 21:18   回复  
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
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塞北先生3楼
2017-10-24 21:18   回复  
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
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塞北先生4楼
2017-10-24 21:22   回复  
dongmings5楼
2017-10-24 21:24   回复  
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
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模拟分析6楼
2017-10-24 21:25   回复  
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
666 发自小木虫Android客户端
zhaoyan19787楼
2017-10-24 21:31   回复  
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
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nono20099楼
2017-10-24 21:36   回复  
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
。 发自小木虫Android客户端
fdnh12楼
2017-10-24 22:43   回复  
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
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