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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 国内有哪些单位可采用原子层沉积技术制备Pt金属纳米粒子
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云淡风轻520

木虫 (正式写手)

[交流] 国内有哪些单位可采用原子层沉积技术制备Pt金属纳米粒子

需要在膜上制备Pt纳米层，想采用原子层沉积法制备，但是由于基体不耐高温，因此最高制备温度要低于130℃，请问哪些单位可以做，并能外协加工的。谢谢
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1楼 2017-10-24 21:15:24
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598878157

版主 (文学泰斗)
★
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
很多

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10楼2017-10-24 22:14:30
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huquan7213

金虫 (初入文坛)
★
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
你先找文献看看，有没有在这个温度下长的，据我所知似乎是没有在此温度下沉积Pt的

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11楼2017-10-24 22:30:53
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白天不懂黑夜

捐助贵宾 (著名写手)
★
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
我知道做设备的，中科院的！

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16楼2017-10-25 10:12:30
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云淡风轻520

木虫 (正式写手)
引用回帖:
10楼: Originally posted by 598878157 at 2017-10-24 22:14:30
很多

比如呢？
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17楼2017-10-25 20:13:31
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云淡风轻520

木虫 (正式写手)
引用回帖:
11楼: Originally posted by huquan7213 at 2017-10-24 22:30:53
你先找文献看看，有没有在这个温度下长的，据我所知似乎是没有在此温度下沉积Pt的

嗯，谢谢，以前我们有在美国做过，但是人家现在不做了，所以想在国内找一个试试
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18楼2017-10-25 20:14:11
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云淡风轻520

木虫 (正式写手)
引用回帖:
16楼: Originally posted by 白天不懂黑夜 at 2017-10-25 10:12:30
我知道做设备的，中科院的！

嗯，哪里呢？谢谢
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19楼2017-10-25 20:14:25
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醉千城

铁虫 (初入文坛)
★
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
有ALD，但是没有Pt靶材，你可以直接用扫描喷铂的仪器喷个几秒或者几十秒就有了

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21楼2017-10-28 14:24:24
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OpticalSDUT

木虫 (正式写手)
★
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
中科院微电子所，可以咨询一下夏老师
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22楼2017-10-29 15:54:05
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埃德万斯

新虫 (初入文坛)
★
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
离子束镀膜沉积考虑过吗

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24楼2017-10-31 17:41:07
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云淡风轻520

木虫 (正式写手)
引用回帖:
22楼: Originally posted by OpticalSDUT at 2017-10-29 15:54:05
中科院微电子所，可以咨询一下夏老师

嗯，好的，谢谢，请问有联系方式吗？
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25楼2018-03-29 12:06:13
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云淡风轻520

木虫 (正式写手)
引用回帖:
21楼: Originally posted by 醉千城 at 2017-10-28 14:24:24
有ALD，但是没有Pt靶材，你可以直接用扫描喷铂的仪器喷个几秒或者几十秒就有了

什么仪器可以进行扫描喷Pt呢？不好意思，不是很懂，谢谢
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26楼2018-03-29 12:06:45
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离子束技术应用

新虫 (初入文坛)
★
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
需要沉积多厚？

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27楼2018-04-13 16:03:02
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nicenicey2楼
2017-10-24 21:18   回复  
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
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塞北先生3楼
2017-10-24 21:18   回复  
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
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塞北先生4楼
2017-10-24 21:22   回复  
dongmings5楼
2017-10-24 21:24   回复  
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
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模拟分析6楼
2017-10-24 21:25   回复  
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
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zhaoyan19787楼
2017-10-24 21:31   回复  
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
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syhorchid8楼
2017-10-24 21:36   回复  
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nono20099楼
2017-10-24 21:36   回复  
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
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fdnh12楼
2017-10-24 22:43   回复  
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youngen13楼
2017-10-24 22:44   回复  
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sz_kebaoyuan14楼
2017-10-24 23:44   回复  
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
wdxmu15楼
2017-10-25 00:52   回复  
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
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nono200920楼
2017-10-28 10:24   回复  
sz_kebaoyuan23楼
2017-10-29 22:21   回复  
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