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云淡风轻520

木虫 (正式写手)


[交流] 国内有哪些单位可采用原子层沉积技术制备Pt金属纳米粒子

需要在膜上制备Pt纳米层,想采用原子层沉积法制备,但是由于基体不耐高温,因此最高制备温度要低于130℃,请问哪些单位可以做,并能外协加工的。谢谢
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598878157

版主 (文学泰斗)



云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
10楼2017-10-24 22:14:30
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huquan7213

金虫 (初入文坛)



云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
你先找文献看看,有没有在这个温度下长的,据我所知似乎是没有在此温度下沉积Pt的

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11楼2017-10-24 22:30:53
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白天不懂黑夜

捐助贵宾 (著名写手)



云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
我知道做设备的,中科院的!

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16楼2017-10-25 10:12:30
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云淡风轻520

木虫 (正式写手)


引用回帖:
10楼: Originally posted by 598878157 at 2017-10-24 22:14:30
很多

比如呢?
17楼2017-10-25 20:13:31
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云淡风轻520

木虫 (正式写手)


引用回帖:
11楼: Originally posted by huquan7213 at 2017-10-24 22:30:53
你先找文献看看,有没有在这个温度下长的,据我所知似乎是没有在此温度下沉积Pt的

嗯,谢谢,以前我们有在美国做过,但是人家现在不做了,所以想在国内找一个试试
18楼2017-10-25 20:14:11
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云淡风轻520

木虫 (正式写手)


引用回帖:
16楼: Originally posted by 白天不懂黑夜 at 2017-10-25 10:12:30
我知道做设备的,中科院的!

嗯,哪里呢?谢谢
19楼2017-10-25 20:14:25
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醉千城

铁虫 (初入文坛)



云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
有ALD,但是没有Pt靶材,你可以直接用扫描喷铂的仪器喷个几秒或者几十秒就有了

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21楼2017-10-28 14:24:24
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OpticalSDUT

木虫 (正式写手)



云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
中科院微电子所,可以咨询一下夏老师
22楼2017-10-29 15:54:05
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埃德万斯

新虫 (初入文坛)



云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
离子束镀膜沉积考虑过吗

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24楼2017-10-31 17:41:07
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云淡风轻520

木虫 (正式写手)


引用回帖:
22楼: Originally posted by OpticalSDUT at 2017-10-29 15:54:05
中科院微电子所,可以咨询一下夏老师

嗯,好的,谢谢,请问有联系方式吗?
25楼2018-03-29 12:06:13
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云淡风轻520

木虫 (正式写手)


引用回帖:
21楼: Originally posted by 醉千城 at 2017-10-28 14:24:24
有ALD,但是没有Pt靶材,你可以直接用扫描喷铂的仪器喷个几秒或者几十秒就有了

什么仪器可以进行扫描喷Pt呢?不好意思,不是很懂,谢谢
26楼2018-03-29 12:06:45
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离子束技术应用

新虫 (初入文坛)



云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
需要沉积多厚?

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27楼2018-04-13 16:03:02
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nicenicey2楼
2017-10-24 21:18   回复  
云淡风轻520(金币+1): 谢谢参与
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2017-10-24 21:18   回复  
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2017-10-24 21:22   回复  
dongmings5楼
2017-10-24 21:24   回复  
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2017-10-24 21:25   回复  
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666 发自小木虫Android客户端
2017-10-24 21:31   回复  
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syhorchid8楼
2017-10-24 21:36   回复  
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nono20099楼
2017-10-24 21:36   回复  
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fdnh12楼
2017-10-24 22:43   回复  
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youngen13楼
2017-10-24 22:44   回复  
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2017-10-24 23:44   回复  
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wdxmu15楼
2017-10-25 00:52   回复  
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nono200920楼
2017-10-28 10:24   回复  
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