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Patrick6012

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[交流] 【求助】陶瓷做SEM的热腐蚀问题

有哪位高人能告诉我做陶瓷材料的抛光SEM的时候，热腐蚀样品制备有什么关键所在吗，特别是热腐蚀温度和时间，选择的依据是什么？或者介绍一些这方面的教材，非常感谢。

[ Last edited by SHY31 on 2009-2-19 at 16:45 ]

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1楼 2009-02-19 15:55:38

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Patrick6012

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我做了多个试样，分别是900、1000、1100、1200度烧结的，热腐蚀温度在1000，1100度都做过，SEM观察感觉是都没腐蚀出来，是不是试样本身有问题？对抛光要求很高吗？

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4楼2009-02-23 12:58:34

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rsfzz

木虫 (小有名气)

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★
SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢热心回答 2-19 16:44

显微组织观察试样的制备：显微组织试样是利用PA-2研磨机在600～1200目金刚石研磨片上进行研磨的，磨好的试样须经过40%浓度的氢氟酸溶液腐蚀5min，并用超声波清洗。为了便于试样导电，将试样喷金后，再进行SEM观测，选择适当断口区域作能谱分析，透射电镜试样尽可能切割的薄一些，采用上诉方法磨抛到100μm以内，再经过机器减薄到可以观察为止。
TEM的观察：透射电镜的型号：PHILIPS CM12，加速电压120kv；能谱仪的型号是EDAX。首先将样品研磨成约100μm以内厚的超薄片，然后在Ar离子减薄仪(Gatan600型)上减薄、中心穿孔，最后喷镀上约几十纳米厚的碳膜，以达到在电子束照射下的导电要求。

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