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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 分析 » 请问气相色谱-质谱联用仪能用来测定CVD反应室内气氛组成吗
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soonfound

银虫 (正式写手)

[交流] 请问气相色谱-质谱联用仪能用来测定CVD反应室内气氛组成吗

请问气相色谱-质谱联用仪能用来测定CVD反应室内的气氛组成吗？

或者分析尾气气氛组成。

我没有用过，麻烦各位介绍详细点，谢谢！

[ Last edited by soonfound on 2009-2-17 at 11:51 ]
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1楼 2009-02-17 11:50:30
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ypf13

木虫 (著名写手)
★
wingcat(金币+1):谢谢
气相色谱-质谱联用仪我用过，可是CVD反应室没用过
应该能够分析尾气成分的，但是需要知道大致是什么，因为这牵扯到选择什么样的检测器和载气
赞一下(1人) 回复此楼
2楼2009-02-17 18:56:15
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铁甲骑兵

木虫 (正式写手)
★
wingcat(金币+1):谢谢
不知道你是打算等反应结束了测上方气体？
还是打算测量气体在线变化？

前者的话好办，直接取样就可以了。
后者需要不间断取样，不过要经过色谱柱，分离时间比取样间隔长的话，就要祈求所采样品不会发生变化或者吸附。

还有一种在线质谱，不经过色谱柱直接进样，不过不适合大分子量和复杂体系分析。

楼主还是查查文献或者自己多思考一下吧。
赞一下(1人) 回复此楼
面朝大海，春暖花开。
3楼2009-02-17 22:03:05
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