24小时热门版块排行榜    

查看: 95  |  回复: 2
当前主题已经存档。

soonfound

银虫 (正式写手)

[交流] 请问气相色谱-质谱联用仪能用来测定CVD反应室内气氛组成吗

请问气相色谱-质谱联用仪能用来测定CVD反应室内的气氛组成吗?

或者分析尾气气氛组成。

我没有用过,麻烦各位介绍详细点,谢谢!

[ Last edited by soonfound on 2009-2-17 at 11:51 ]
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ypf13

木虫 (著名写手)


wingcat(金币+1):谢谢
气相色谱-质谱联用仪我用过,可是CVD反应室没用过
应该能够分析尾气成分的,但是需要知道大致是什么,因为这牵扯到选择什么样的检测器和载气
2楼2009-02-17 18:56:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

铁甲骑兵

木虫 (正式写手)


wingcat(金币+1):谢谢
不知道你是打算等反应结束了测上方气体?
还是打算测量气体在线变化?

前者的话好办,直接取样就可以了。
后者需要不间断取样,不过要经过色谱柱,分离时间比取样间隔长的话,就要祈求所采样品不会发生变化或者吸附。

还有一种在线质谱,不经过色谱柱直接进样,不过不适合大分子量和复杂体系分析。

楼主还是查查文献或者自己多思考一下吧。
面朝大海,春暖花开。
3楼2009-02-17 22:03:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 soonfound 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
信息提示
请填处理意见