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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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lzc0521

新虫 (初入文坛)

[求助] PECVD 已有1人参与

pecvd开预抽到0.5Toor(约60Pa)左右就抽不下去了,这是怎么回事?求助各位大神呐

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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
真空室抽到约60Pa左右就抽不下去了,个人认为原因可能有几个:1、真空泵有问题了;2、要么是真空室漏气或内部存在污染源;3、使用的靶材不洁净或孔隙率高,发生了放气。
2楼2017-09-28 10:57:41
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