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lzc0521

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
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专业: 电化学

[求助] PECVD 已有1人参与

pecvd开预抽到0.5Toor（约60Pa）左右就抽不下去了，这是怎么回事？求助各位大神呐

发自小木虫Android客户端

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1楼 2017-09-27 10:15:03

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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

应助: 20282 (院士)
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【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

真空室抽到约60Pa左右就抽不下去了，个人认为原因可能有几个：1、真空泵有问题了；2、要么是真空室漏气或内部存在污染源；3、使用的靶材不洁净或孔隙率高，发生了放气。

赞一下(1人)

2楼2017-09-28 10:57:41

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