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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 【请教】如何测定CVD过程反应室内的气氛组成？
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soonfound

银虫 (正式写手)

[交流] 【请教】如何测定CVD过程反应室内的气氛组成？

请问如何测定CVD过程反应室内的气氛组成？

知道的介绍一下，谢谢！ 实验用。

[ Last edited by SHY31 on 2009-2-17 at 12:10 ]
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1楼 2009-02-16 16:16:43
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vincent8228

金虫 (正式写手)
只能在线测试，用质谱吧
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Me!
3楼2009-02-17 10:30:58
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kancy

金虫 (小有名气)
问下做碳纳米管方面的人 这些这个领域用的多
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4楼2009-02-17 11:49:39
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