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[求助]
求助溶胶凝胶法制备Li掺杂NiO薄膜，导电性一直不好
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| 我用溶胶凝胶旋涂了锂百分之九掺杂的氧化镍薄膜，退火后不管是从颜色深度上还是导电性都比用PLD长的薄膜差很多，PLD长的电阻是千欧级别的 我用溶胶凝胶长的薄膜是兆欧级别的，虽然溶胶凝胶长出来的薄膜质量比不过PLD，但是电阻也差太多了。我怀疑是掺杂的锂在煅烧和退火过程飞走了，我一般的煅烧程序是用管式炉 5摄氏度／分钟 升温到300摄氏度恒温15分钟 自然冷却后再进行第二次旋涂，最后升温到450摄氏度恒温一小时后自然冷却。 之前一直是用550摄氏度退火的，由于怀疑时温度过高让锂飞走，将温度降到450摄氏度，但是结果还是一样。求助大神 |
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27博士
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6楼2018-05-15 21:00:32
dengdenger
新虫 (小有名气)
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- 虫号: 4486182
- 注册: 2016-03-09
- 性别: MM
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
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根据你的溶剂和稳定剂，来选择格式的热处理温度。考虑膜厚度，是否有效掺杂，不过这个电阻，应该是没掺杂进去。有条件测个霍尔，看看载流子浓度和迁移率。重新考虑一下溶剂和稳定剂吧 发自小木虫IOS客户端 |
2楼2017-09-19 08:45:46
3楼2017-09-19 09:45:59
5楼2018-05-15 20:59:37
