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求助溶胶凝胶法制备Li掺杂NiO薄膜,导电性一直不好
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| 我用溶胶凝胶旋涂了锂百分之九掺杂的氧化镍薄膜,退火后不管是从颜色深度上还是导电性都比用PLD长的薄膜差很多,PLD长的电阻是千欧级别的 我用溶胶凝胶长的薄膜是兆欧级别的,虽然溶胶凝胶长出来的薄膜质量比不过PLD,但是电阻也差太多了。我怀疑是掺杂的锂在煅烧和退火过程飞走了,我一般的煅烧程序是用管式炉 5摄氏度/分钟 升温到300摄氏度恒温15分钟 自然冷却后再进行第二次旋涂,最后升温到450摄氏度恒温一小时后自然冷却。 之前一直是用550摄氏度退火的,由于怀疑时温度过高让锂飞走,将温度降到450摄氏度,但是结果还是一样。求助大神 |
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dengdenger
新虫 (小有名气)
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- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
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根据你的溶剂和稳定剂,来选择格式的热处理温度。考虑膜厚度,是否有效掺杂,不过这个电阻,应该是没掺杂进去。有条件测个霍尔,看看载流子浓度和迁移率。重新考虑一下溶剂和稳定剂吧 发自小木虫IOS客户端 |
2楼2017-09-19 08:45:46
3楼2017-09-19 09:45:59
4楼2017-09-19 11:22:06

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6楼2018-05-15 21:00:32













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