24小时热门版块排行榜

木虫 (初入文坛)

[交流] 薄膜问题已有1人参与

用磁控溅射仪器射频溅射方法用TiO2靶材镀TiO2薄膜，在工作压强P＝0.44Pa,室温条件下，氩气与氧气的压强比50，功率160W, 衬底与靶材之间的距离8cm左右，溅射时间2 h,在玻璃衬底上镀出来的膜厚只有140nm这么薄。
请各位高手指点一下改变什么条件能够使薄厚增加呢？谢谢啦！

1楼 2009-02-15 10:06:34

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

木虫 (职业作家)

★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流

我也想知道，知道了告诉我下，O(∩_∩)O谢谢

2楼2011-03-21 21:48:43

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

相关版块跳转我要订阅楼主小明750 的主题更新