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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 光掩膜
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清玉涟漪

银虫 (正式写手)

[交流] 光掩膜 已有3人参与

请问什么是光掩膜，这种材料有什么特点？
光刻胶是什么？一般有哪些化学物质组成？

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1楼 2017-09-11 13:44:36
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光刻电子

禁虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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4楼2017-10-12 11:37:37
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perle03

金虫 (著名写手)
占个楼层

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2楼2017-09-11 23:51:21
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yx_yyh

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
推荐楼主读一下施敏老师的《半导体器件物理与工艺》(第三版)，里面有很详细的介绍。让我自己描述肯定没有书里写得准确。
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3楼2017-09-12 16:51:17
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