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光刻ITO
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问题1:之前做ITO,光刻显影之后正常，然后刻蚀之后有一道裂缝，位置都在一个位置，我们怀疑掩模板问题，对着光照没有裂缝，并用黑色签字笔涂了掩模板，发现还是有裂缝。 问题2:然后最近做实验，裂缝不明显，但是刻蚀之后发现用万能表蜂鸣档测两个方块的ito之间的通断（掩模板的形状是各个方块分别独立），没有声音，但示数不是像正常情况那样显示1.，然后就测一下两个ito电阻，正常情况电阻是测不出，但是如果测通断档不响，示数不是1.，它的电阻是100欧姆。这种情况下，ito基底还能用嘛？我们要求的是刻蚀后六个方块的ito互不接触。 问题3:因为之前用万能表通断档测之前做出来的各个ito之间都是没有声音，示数为1.，然而这次却出现上面这种情况，所以我们觉得是刻蚀的时间不够，还有多余ito连在各个方块的ito,所以我们增加刻蚀时间，多了10s，我们发现解决了这个问题，但是后面再做光刻ito，我们发现增加刻蚀时间会把光刻胶下的ito给刻蚀掉，而且两个方块的ito还连起来了，万能表的蜂鸣档响了，我们怀疑显影时间不够，增加了显影时间，显影的图形发现有点过了，刻蚀之后ito还是连起来了，而且我们发现az3100光刻胶已经过期了3年。不知道过期的光刻胶影响大不？ 发自小木虫Android客户端 |
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