| 查看: 1546 | 回复: 4 | |||
泯求新虫 (正式写手)
|
[交流]
光刻ITO
|
|
问题1:之前做ITO,光刻显影之后正常，然后刻蚀之后有一道裂缝，位置都在一个位置，我们怀疑掩模板问题，对着光照没有裂缝，并用黑色签字笔涂了掩模板，发现还是有裂缝。 问题2:然后最近做实验，裂缝不明显，但是刻蚀之后发现用万能表蜂鸣档测两个方块的ito之间的通断（掩模板的形状是各个方块分别独立），没有声音，但示数不是像正常情况那样显示1.，然后就测一下两个ito电阻，正常情况电阻是测不出，但是如果测通断档不响，示数不是1.，它的电阻是100欧姆。这种情况下，ito基底还能用嘛？我们要求的是刻蚀后六个方块的ito互不接触。 问题3:因为之前用万能表通断档测之前做出来的各个ito之间都是没有声音，示数为1.，然而这次却出现上面这种情况，所以我们觉得是刻蚀的时间不够，还有多余ito连在各个方块的ito,所以我们增加刻蚀时间，多了10s，我们发现解决了这个问题，但是后面再做光刻ito，我们发现增加刻蚀时间会把光刻胶下的ito给刻蚀掉，而且两个方块的ito还连起来了，万能表的蜂鸣档响了，我们怀疑显影时间不够，增加了显影时间，显影的图形发现有点过了，刻蚀之后ito还是连起来了，而且我们发现az3100光刻胶已经过期了3年。不知道过期的光刻胶影响大不？ 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
济南大学国家优青课题组 2026 调剂招生来啦
已经有0人回复
-
武汉纺织大学_化学院官方调剂群-院士团队招生-学生自由度高发展好-欢迎各位同学
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有241人回复
-
西华大学 化学 调剂有名额
已经有0人回复
-
上海应用技术大学招生调剂研究生
已经有8人回复
-
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
北方工业大学储能技术-02电化学储能与氢能方向招收2026级二次调剂学生
已经有0人回复
-
求助WO3.cif文件 对应PDF卡片 43-1035，单斜晶系 , P21/n 。
已经有2人回复
迟钝的天才
至尊木虫 (文坛精英)
- 应助: 5 (幼儿园)
- 金币: 26808.5
- 散金: 3845
- 红花: 14
- 沙发: 6
- 帖子: 11438
- 在线: 2100.5小时
- 虫号: 1822162
- 注册: 2012-05-17
- 专业: 集成电路制造与封装
2楼2017-09-08 23:38:12
泯求
新虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1543.2
- 散金: 10
- 红花: 1
- 帖子: 310
- 在线: 195.5小时
- 虫号: 4563781
- 注册: 2016-04-02
- 专业: 半导体物理
3楼2017-09-09 09:37:07
迟钝的天才
至尊木虫 (文坛精英)
- 应助: 5 (幼儿园)
- 金币: 26808.5
- 散金: 3845
- 红花: 14
- 沙发: 6
- 帖子: 11438
- 在线: 2100.5小时
- 虫号: 1822162
- 注册: 2012-05-17
- 专业: 集成电路制造与封装
4楼2017-09-09 12:17:28
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
| 古洛玻璃，可提供各种您需要的刻蚀好的电极板。https://shop33401513.taobao.com/ ... 1997079397.2.RFbYdA |
5楼2017-10-12 10:59:55
