| 查看: 2551 | 回复: 8 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
AZ5214反转工艺问题 已有2人参与
|
||
|
甩胶参数为2000rpm,前烘是90度,曝光72mj/cm2,反转烘胶120摄氏度5分钟,泛曝光400mj/cm2,显影80s,出现了下图这些情况,线条附近有锯齿形胶,图形并不好看,请教下熟悉反转工艺的大神们问题出在哪里。衬底设计玻璃。而且做出来的图形和正胶图形一样,只不过胶厚度要小很多 发自小木虫IOS客户端 |
» 猜你喜欢
北方工业大学储能技术-02电化学储能与氢能方向招收2026级二次调剂学生
已经有0人回复
求助WO3.cif文件 对应PDF卡片 43-1035,单斜晶系 , P21/n 。
已经有2人回复
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有116人回复
稀土发光分析|核壳结构|寿命拟合
已经有13人回复
稀土发光分析|核壳结构|寿命拟合
已经有6人回复
稀土发光分析|核壳结构|寿命拟合
已经有0人回复
稀土发光分析|核壳结构|寿命拟合
已经有0人回复
26 届青岛大学纺织化学与染整工程硕士(液体纳米分散染料方向)求申博建议
已经有3人回复
26 届青岛大学纺织化学与染整工程(液体纳米分散染料)求浙理工纺织 / 材料博导名额
已经有1人回复
敢问Acta Pharmaceutica Sinica B with Editor 三周了,能是什么情况?
已经有0人回复
daerbeijita
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 16 (小学生)
- 金币: 9487.1
- 红花: 4
- 帖子: 938
- 在线: 102.9小时
- 虫号: 1467095
- 注册: 2011-10-29
- 性别: GG
- 专业: 光学和光电子学

3楼2017-09-10 23:44:23
2楼2017-09-08 09:57:38
|
最新的情况是前曝光50mj/cm2,泛曝光300mj/cm2,反转烘95度烘箱20min,但是边缘有锯齿状毛刺,而且线条小于6微米的图形出不来,不知道哪步错了。 发自小木虫IOS客户端 |
4楼2017-09-27 23:06:34
daerbeijita
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 16 (小学生)
- 金币: 9487.1
- 红花: 4
- 帖子: 938
- 在线: 102.9小时
- 虫号: 1467095
- 注册: 2011-10-29
- 性别: GG
- 专业: 光学和光电子学

5楼2017-09-28 00:01:26












回复此楼