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AZ5214反转工艺问题 已有2人参与
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甩胶参数为2000rpm,前烘是90度,曝光72mj/cm2,反转烘胶120摄氏度5分钟,泛曝光400mj/cm2,显影80s,出现了下图这些情况,线条附近有锯齿形胶,图形并不好看,请教下熟悉反转工艺的大神们问题出在哪里。衬底设计玻璃。而且做出来的图形和正胶图形一样,只不过胶厚度要小很多 发自小木虫IOS客户端 |
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2楼2017-09-08 09:57:38
daerbeijita
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3楼2017-09-10 23:44:23
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最新的情况是前曝光50mj/cm2,泛曝光300mj/cm2,反转烘95度烘箱20min,但是边缘有锯齿状毛刺,而且线条小于6微米的图形出不来,不知道哪步错了。 发自小木虫IOS客户端 |
4楼2017-09-27 23:06:34
daerbeijita
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5楼2017-09-28 00:01:26
6楼2017-09-30 11:56:37
7楼2019-07-29 15:46:17
众志启成
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8楼2019-07-29 18:19:40
553805507
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