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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » AZ5214反转工艺问题
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wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)

[求助] AZ5214反转工艺问题 已有2人参与

甩胶参数为2000rpm，前烘是90度，曝光72mj/cm2，反转烘胶120摄氏度5分钟，泛曝光400mj/cm2，显影80s，出现了下图这些情况，线条附近有锯齿形胶，图形并不好看，请教下熟悉反转工艺的大神们问题出在哪里。衬底设计玻璃。而且做出来的图形和正胶图形一样，只不过胶厚度要小很多

AZ5214反转工艺问题


AZ5214反转工艺问题-1


AZ5214反转工艺问题-2


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1楼 2017-09-07 15:23:11
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wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)
求助

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2楼2017-09-08 09:57:38
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daerbeijita

铁杆木虫 (正式写手)
是不是曝光剂量太大了

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**尚未成功，同志仍需努力
3楼2017-09-10 23:44:23
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wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by daerbeijita at 2017-09-10 23:44:23
是不是曝光剂量太大了

最新的情况是前曝光50mj/cm2，泛曝光300mj/cm2，反转烘95度烘箱20min，但是边缘有锯齿状毛刺，而且线条小于6微米的图形出不来，不知道哪步错了。

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4楼2017-09-27 23:06:34
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daerbeijita

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by wataru_kazaf at 2017-09-27 23:06:34
最新的情况是前曝光50mj/cm2，泛曝光300mj/cm2，反转烘95度烘箱20min，但是边缘有锯齿状毛刺，而且线条小于6微米的图形出不来，不知道哪步错了。
...

反转是120° 2min么，你可以看一下产品手册，玻璃的参数跟硅基底的略有不同，产品手册上也都有

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**尚未成功，同志仍需努力
5楼2017-09-28 00:01:26
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wataru_kazaf

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by daerbeijita at 2017-09-28 00:01:26
反转是120° 2min么，你可以看一下产品手册，玻璃的参数跟硅基底的略有不同，产品手册上也都有
...

以前试过120度，似乎后来显影都显不掉了，不同人参数都不同。

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6楼2017-09-30 11:56:37
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当你当年

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

在玻璃上旋涂AZ5214，能直接旋涂上吗？
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7楼2019-07-29 15:46:17
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众志启成

金虫 (正式写手)
玻璃上不太好涂，有的会掉，可以选粘附力好的胶

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8楼2019-07-29 18:19:40
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553805507

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by wataru_kazaf at 2017-09-27 23:06:34
最新的情况是前曝光50mj/cm2，泛曝光300mj/cm2，反转烘95度烘箱20min，但是边缘有锯齿状毛刺，而且线条小于6微米的图形出不来，不知道哪步错了。
...

第一次曝光72mj/cm2，反转烘胶120摄氏度5分钟，泛曝光400mj/cm2，显影80s。从你所拍的照片看，是曝光剂量或显影不足多导致，边缘有胶；第二次前曝光50mj/cm2，泛曝光300mj/cm2，反转烘95度烘箱20min，但是边缘有锯齿状毛刺，而且线条小于6微米的图形出不来。从所描述看，显然该情况加重了。进一步说明曝光剂量或显影不足多导致。是的增加曝光剂量应有所改善。另side-wall问题跟光刻胶有很大关系。
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9楼2019-07-30 08:25:31
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