| 查看: 360 | 回复: 1 | ||
[求助]
关于ALD在低熔点金属上沉积其他物质的问题
|
|
小弟小白一个，有问题想请教各位大神： 如果想用ALD在低熔点金属（如钠97℃、锂180℃）上沉积其他物质，普通的ALD设备在沉积过程中的温度范围是多少，在不使得金属熔化的前提下能否完成沉积，如果不行的话是否要使用PEALD设备，以降低成膜的温度，来完成沉积？ 以下两篇文献均在钠金属上进行沉积，但是分别使用了PEALD设备和普通的ALD设备，小弟搞不懂了，供各位大神参考，还望不吝赐教！谢谢！ |
回复此楼» 本帖附件资源列表
-
欢迎监督和反馈：小木虫仅提供交流平台，不对该内容负责。
本内容由用户自主发布，如果其内容涉及到知识产权问题，其责任在于用户本人，如对版权有异议，请联系邮箱：xiaomuchong@tal.com - 附件 1 : Luo_Lin_et_al-2016-Advanced_Energy_Materials.pdf
- 附件 2 : Zhao_et_al-2017-Advanced_Materials(2).pdf
2017-09-05 14:09:31, 1.25 M
2017-09-05 14:12:32, 1.74 M
» 猜你喜欢
【2027级博士申请】双非硕・一作 SCI 3 篇（2篇CEJ 一区 Top）储能方向
已经有15人回复
-
石墨电催化体系反应动力学：污染物浓度与反应速率的关联规律
已经有0人回复
-
分析化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有99人回复
-
海南大学杨金霖老师招收2027级博士生（储能电池方向）
已经有8人回复
-
氮掺杂石墨阴极制备：掺杂量对氧还原活性的调控规律
已经有0人回复
-
电催化CO2还原
已经有1人回复
-
铁基负载石墨催化极板：金属活性位点的催化增效机制
已经有0人回复
-
石墨电催化系统参数匹配原则：水质、电流与极距的协同设计
已经有0人回复
-
锂金属电池求助
已经有1人回复
-
石墨阴极电催化耦合臭氧：协同增效还是资源浪费？
已经有0人回复
-
pH 对石墨催化极板反应选择性的影响：从自由基生成到副反应转向
已经有0人回复
2楼2018-04-24 14:16:19