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关于ALD在低熔点金属上沉积其他物质的问题
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小弟小白一个，有问题想请教各位大神： 如果想用ALD在低熔点金属（如钠97℃、锂180℃）上沉积其他物质，普通的ALD设备在沉积过程中的温度范围是多少，在不使得金属熔化的前提下能否完成沉积，如果不行的话是否要使用PEALD设备，以降低成膜的温度，来完成沉积？ 以下两篇文献均在钠金属上进行沉积，但是分别使用了PEALD设备和普通的ALD设备，小弟搞不懂了，供各位大神参考，还望不吝赐教！谢谢！ |
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2017-09-05 14:09:31, 1.25 M
2017-09-05 14:12:32, 1.74 M
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