| 查看: 283 | 回复: 1 | ||
[求助]
关于ALD在低熔点金属上沉积其他物质的问题
|
|
小弟小白一个，有问题想请教各位大神： 如果想用ALD在低熔点金属（如钠97℃、锂180℃）上沉积其他物质，普通的ALD设备在沉积过程中的温度范围是多少，在不使得金属熔化的前提下能否完成沉积，如果不行的话是否要使用PEALD设备，以降低成膜的温度，来完成沉积？ 以下两篇文献均在钠金属上进行沉积，但是分别使用了PEALD设备和普通的ALD设备，小弟搞不懂了，供各位大神参考，还望不吝赐教！谢谢！ |
回复此楼» 本帖附件资源列表
-
欢迎监督和反馈：小木虫仅提供交流平台，不对该内容负责。
本内容由用户自主发布，如果其内容涉及到知识产权问题，其责任在于用户本人，如对版权有异议，请联系邮箱：xiaomuchong@tal.com - 附件 1 : Luo_Lin_et_al-2016-Advanced_Energy_Materials.pdf
- 附件 2 : Zhao_et_al-2017-Advanced_Materials(2).pdf
2017-09-05 14:09:31, 1.25 M
2017-09-05 14:12:32, 1.74 M
» 猜你喜欢
推荐给教师的一本单词书《金鱼单词讲义：从26个拉丁字母到106万个英语单词》
已经有33人回复
-
核磁分析软件MestReNova打开文件时报错
已经有0人回复
-
物理化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有193人回复
-
在职博后不能申请博后基金了，那么在职博后意义何在？
已经有2人回复
-
青岛大学化学化工学院分子测量学研究院2026年招收博士研究生
已经有0人回复
-
香港科技大学（广州）诚招电催化方向博士生（2026秋入学）
已经有0人回复
-
求助Cu2+1O的CIF文件(PDF: 05-0667)
已经有1人回复
-
KAUST（阿卜杜拉国王科技大学）MXene 器件方向博士后招聘
已经有0人回复
-
沙特阿拉伯阿卜杜拉国王科技大学（KAUST）电池方向博士后招聘
已经有0人回复
2楼2018-04-24 14:16:19