| 查看: 345 | 回复: 1 | |||
[求助]
关于ALD在低熔点金属上沉积其他物质的问题
|
|
小弟小白一个，有问题想请教各位大神： 如果想用ALD在低熔点金属（如钠97℃、锂180℃）上沉积其他物质，普通的ALD设备在沉积过程中的温度范围是多少，在不使得金属熔化的前提下能否完成沉积，如果不行的话是否要使用PEALD设备，以降低成膜的温度，来完成沉积？ 以下两篇文献均在钠金属上进行沉积，但是分别使用了PEALD设备和普通的ALD设备，小弟搞不懂了，供各位大神参考，还望不吝赐教！谢谢！ |
回复此楼» 本帖附件资源列表
-
欢迎监督和反馈：小木虫仅提供交流平台，不对该内容负责。
本内容由用户自主发布，如果其内容涉及到知识产权问题，其责任在于用户本人，如对版权有异议，请联系邮箱：xiaomuchong@tal.com - 附件 1 : Luo_Lin_et_al-2016-Advanced_Energy_Materials.pdf
- 附件 2 : Zhao_et_al-2017-Advanced_Materials(2).pdf
2017-09-05 14:09:31, 1.25 M
2017-09-05 14:12:32, 1.74 M
» 猜你喜欢
Renlab@monash全奖博士机会，最后三天！
已经有0人回复
-
今年面上没有消息，想来是没了，散个金攒攒人品，为明年祈福
已经有697人回复
-
分析化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有162人回复
-
合肥工业大学854仪器技术综合专业课考研
已经有0人回复
-
27年电化学博士毕业，想找海外QS前50的高校读博后求推荐
已经有3人回复
-
27年电池/材料类博士申请
已经有2人回复
-
2027年博士申请或转博科研助理 求推荐
已经有1人回复
-
请问谁有2025最新影响因子Excel表？金币求助！
已经有23人回复
-
氯化钠与有机磺酸分离
已经有0人回复
2楼2018-04-24 14:16:19
