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小木虫论坛-学术科研互动平台» 网络生活区» 有奖问答 » 有奖问答完结子版 » 【求助磁控溅射制备的DLC的最高SP3含量是多少】+【有效期至2009年2月20日】
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echocean

新虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
guobaogang(金币+10,VIP+0):谢谢！！ 2-12 10:24
用RAMAN光谱做ID/IG，有人说不是很好的鉴定方法，原话是如何表述的，我忘记了。但是，依然有大量文章依赖RAMAN光谱。D峰代表的是sp2杂化轨道峰值，G峰代表sp3杂化轨道峰值，在合成时，是此消彼长的关系。因此，你可以根据它们的比值，做某种意义上的判断，有的人写文章，喜欢说sp2:sp3 ratio是多少，有人会直接用sp3 content含量，但是，并不给出具体的百分数，而是，做出比较。你只能根据不同文章的实验方法，比如用的是什么技术，然后对温度，碳、氢比例，有没有参杂金属元素，这些都会影响sp3的含量。至于说，要解释得非常清楚，那么我觉得，楼主不仅要找到大量cite的文章，还要非常的精读。
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11楼2009-02-11 12:13:14
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echocean

新虫 (小有名气)
RF 20-55%，抱歉，这个本来要删掉的，在一篇文献中，引用了一个这样的数据，但是，他引的那篇文，我并没有去读。我会回过去，再找这篇文章的。
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12楼2009-02-11 12:15:25
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guobaogang

金虫 (小有名气)
引用回帖:
Originally posted by echocean at 2009-2-11 12:13:
用RAMAN光谱做ID/IG，有人说不是很好的鉴定方法，原话是如何表述的，我忘记了。但是，依然有大量文章依赖RAMAN光谱。D峰代表的是sp2杂化轨道峰值，G峰代表sp3杂化轨道峰值，在合成时，是此消彼长的关系。因此，你可以根据它们的比值，做某种意义上的判断，有的人写文章，喜欢说sp2:sp3 ratio是多少，有人会直接用sp3 content含量，但是，并不给出具体的百分数，而是，做出比较。你只能根据不同文章的实验方法，比如用的是什么技术，然后对温度，碳、氢比例，有没有参杂金属元素，这些都会影响sp3的含量。至于说，要解释得非常清楚，那么我觉得，楼主不仅要找到大量cite的文章，还要非常的精读。

我的意思是利用磁控溅射技术（直流磁控溅射、射频磁控溅射、非平衡磁控溅射，etc.）得到的最高的SP3含量是多少，这肯定包括具体的试验条件（如温度，碳氢比例，掺杂元素），谢谢！

[ Last edited by guobaogang on 2009-2-11 at 12:29 ]
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13楼2009-02-11 12:25:17
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364968121

金虫 (小有名气)
★
guobaogang(金币+1,VIP+0):谢谢！！ 2-12 10:24
《真空与低温》2006年04期  
  射频磁控溅射制备类金刚石薄膜的特性
  赵之明;李合琴;顾金宝;宋泽润
  　　采用射频磁控溅射技术,用高纯石墨靶在单晶硅片、抛光不锈钢片上制备了类金刚石薄膜(DLC)。采用Raman光谱、原子力显微镜、显微硬度分析仪,表征了类金刚石薄膜的微观结构、表面形貌、硬度。结果表明,制备的类金刚石薄膜中含sp2、sp3杂化碳键,具有典型的类金刚石结构特征。计算表明,对应sp3杂化碳原子含量的ID1IG为3.18;薄膜的表面十分平整光滑,表面粗糙度极低,平均粗糙度Ra为0.17 nm;薄膜硬度可以高达30.8 GPa。
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14楼2009-02-11 12:37:00
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echocean

新虫 (小有名气)
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guobaogang(金币+50,VIP+0):谢谢！ 3-16 08:28
LZ，
Diamond-like amorphous carbon,  J. Robertson的这篇review很好。咱可以一起讨论讨论。
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15楼2009-02-11 14:02:38
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liuhaifeng7758

木虫 (正式写手)

金玉其中
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
guobaogang(金币+10,VIP+0):谢谢你的资料，非常感谢！ 3-16 08:29
楼主这个问题问得好，值得我们考虑！但是，要想全面回答这个问题，很有难度。
比如对于直流、射频等磁控溅射方法制备DLC薄膜，影响因素很多，制备工艺条件、掺杂（包括掺杂物与主体物质之间结构等等各种因素）、制备的设备差异、其它技术辅助等等都有关系，目前很难说明SP3含量是多少，但用此类方法制备的薄膜一般比较低。
楼主，把你的邮箱留给我，我有一些这方面的资料，希望对你有些帮助。
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16楼2009-03-15 22:06:49
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liuhaifeng7758

木虫 (正式写手)

金玉其中
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guobaogang(金币+50,VIP+0):非常感谢你的资料！！有什么问题再向你请教！ 3-16 08:30
楼主，我的邮箱
liuhaifengdeai@yahoo.com.cn
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17楼2009-03-15 22:16:30
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