| 查看: 490 | 回复: 16 | ||
| 当前主题已经存档。 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者guobaogang将赠送您 46 个金币 | ||
[求助]
【求助磁控溅射制备的DLC的最高SP3含量是多少】+【有效期至2009年2月20日】
|
||
|
各位虫友，大家好！ 向大家请教问题： 利用各种磁控溅射方法制备的DLC薄膜的最高的SP3含量是多少？ 1. 直流磁控溅射 2. 射频磁控溅射 3. 非平衡磁控溅射 4. ---------等等 每回答一个问题酌情赠送金币，至少50金币！但需要给出论文出处，非常感谢大家！ |
回复此楼» 猜你喜欢
职称评审没过，求安慰
已经有34人回复
-
垃圾破二本职称评审标准
已经有17人回复
-
回收溶剂求助
已经有6人回复
-
投稿Elsevier的Neoplasia杂志，到最后选publishing options时页面空白，不能完成投稿
已经有22人回复
-
申请26博士
已经有5人回复
-
EST投稿状态问题
已经有7人回复
-
毕业后当辅导员了，天天各种学生超烦
已经有4人回复
-
聘U V热熔胶研究人员
已经有10人回复
-
求助文献
已经有3人回复
-
投稿返修后收到这样的回复，还有希望吗
已经有8人回复
2楼2009-02-10 17:29:54
yuh1984
木虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3894.1
- 散金: 480
- 帖子: 1042
- 在线: 141.8小时
- 虫号: 642991
- 注册: 2008-11-01
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
3楼2009-02-10 17:38:31
kuramahui
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 6360.8
- 帖子: 863
- 在线: 108.7小时
- 虫号: 444270
- 注册: 2007-10-27
- 性别: MM
- 专业: 无机纳米化学
4楼2009-02-10 19:01:45
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
guobaogang(金币+30,VIP+0):非常感谢您的帮助！！ 2-12 10:23
guobaogang(金币+30,VIP+0):非常感谢您的帮助！！ 2-12 10:23
|
DC sputtering RF sputtering 20-50% magnetron sputtering ion beam sputtering plasma assisted physical vapour deposition plasma assisted chemical vapour deposition ion beam deposition fast atomic beam bombardment (FAB) technique carbon arc evaporation laser evaporation (VHF PECVD) techniquea Dense Plasma Focussing (DPF) . 以上是包括了溅射和沉淀、聚焦、蒸发等多种做DLF的方法。 多数都用RAMAN光谱 ID/IG表示SP2：SP3的ratio, 反过来就是sp3 content 为了maximise sp3 content，以下文献中提到了多种方法，通过改变各种实验条件实现。比如ion energy大小，temperature, coating group, metal content, carbon content, hydrogen content等。 Molecular-dynamics simulation of the growth of diamondlike films by energetic carbon-atom beams 射频、直流磁控溅射和多弧离子镀沉积类金刚石薄膜的拉曼光谱分析 这篇文章 ID/IG 射频磁控溅射 0. 832 直流磁控溅射 0. 707 多弧离子镀 0. 386 Deposition of Diamond-like Carbon films using Dense Plasma Focus 这篇文章里，说用DPF系统做DLF，RAMAN光谱测定sp3/sp2的content最高可达22%。这是2008年新的文章。 Molecular-dynamics simulation of the growth of diamondlike films by energetic carbon-atom beams这篇文章推荐楼主看，但是我们学校下不到。 |
5楼2009-02-10 21:45:33
6楼2009-02-10 21:50:12
|
echocean兄,非常感谢您的回答！ 在您提的 “DC sputtering RF sputtering 20-50% ”中的20-50%是用DC和RF溅射所得到的DLC薄膜中的SP3含量多少吗？有文献支持吗？ 此外，您提到的------“射频、直流磁控溅射和多弧离子镀沉积类金刚石薄膜的拉曼光谱分析 这篇文章 ID/IG 射频磁控溅射 0. 832 直流磁控溅射 0. 707 多弧离子镀 0. 386” 其中，ID/IG是不是只是一种表示SP2、SP3相对含量多少？是不是不是很准确？在这篇文章中也没有提到用射频和直流磁控溅射所得到的薄膜中SP3含量。 另外，我现在只关心利用磁控溅射技术所得到的DLC薄膜中SP3含量的多少，其他技术我目前不考虑！呵呵，再次感谢！ |
7楼2009-02-10 22:21:39
8楼2009-02-10 22:23:27
|
在J. Robertson写的综述文章“Diamond-like amorphous carbon”中的图2--Ternary phase diagram of bonding in amorphous carbon-hydrogen alloys"是否可以得到利用磁控溅射所制备的DLC薄膜中SP3 C含量？原因是什么？ Materials Science and Engineering: R: Reports, Volume 37, Issues 4-6, 24 May 2002, Pages 129-281 文章链接：http://www.sciencedirect.com/sci ... b96d3893c5c23c6b03c |
9楼2009-02-10 22:32:44
10楼2009-02-11 11:09:31