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gyq2006

木虫 (著名写手)

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[交流] 铁电薄膜XRD中底电极铂峰位置变化原因

各位虫友，请问我在做铁电薄膜XRD中，发现底电极铂峰位置局部放大后随退火温度的增加而移向高角度方向，这是什么原因，请帮忙分析一下。
我个人觉得退火温度只会影响铁电薄膜峰的位置，这应该对底电极（Pt/Ti/SiO2/Si)的衍射峰不会有影响，可事实上，移动了2度左右，请指教，多谢！

[ Last edited by gyq2006 on 2009-2-9 at 15:46 ]

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1楼 2009-02-09 15:45:03

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diwunju

铁杆木虫 (正式写手)

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★ ★
ufoer(金币+2,VIP+0):谢谢交流 4-2 10:31

对于薄膜峰的移动，楼主说的是退火温度，楼上可能误会成变温XRD了。楼上说的情况也不是没有可能，比如在居里点以上退火，薄膜结晶在高对称相，当降温到室温做XRD的时候本应该相变到低对称相，但是由于薄膜中晶粒太小由于应力钳制使得这一相变不能发生。但是这种情况除了峰的偏移还有有一些峰消失。不知道温度间隔有多大，做了几个温度点，楼主重复验证过是有规律的变化吗？

回到Pt峰的移动，同样重要的是是否是有规律的移动？如果不是，很有可能就是样品没放好，没有激光测角的衍射仪放样品一般就是靠经验。

我也很感兴趣楼主在做什么材料，我做了十年铁电薄膜，但是现在铁电薄膜还有什么可以做的呢？