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萧行予

新虫 (小有名气)

[求助] 薄膜材料 已有2人参与

求可以薄膜生长过程中可以不断测量厚度的办法

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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
薄膜生长系统安装REED系统,原位测量
4楼2017-08-15 08:26:40
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匿名

用户注销 (正式写手)

本帖仅楼主可见
2楼2017-08-13 20:54:20
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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水,利万物而不争


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
直接法测量有:螺旋测微法、精密轮廓扫描法(台阶法)、扫描电子显微法(SEM)
常见的间接法测量有:称量法、电容法、电阻法、等厚干涉法、变角干涉法、椭圆偏振法。
3楼2017-08-13 21:03:52
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萧行予

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by mybeike at 2017-08-13 20:54:20
晶振片可以对薄膜材料厚度实时监控

谢谢

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5楼2017-08-21 09:12:14
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