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萧行予

新虫 (小有名气)

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[求助] 薄膜材料已有2人参与

求可以薄膜生长过程中可以不断测量厚度的办法

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1楼 2017-08-13 19:46:23

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kangye_1989

木虫 (著名写手)

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【答案】应助回帖

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薄膜生长系统安装REED系统，原位测量

4楼2017-08-15 08:26:40

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匿名

用户注销 (正式写手)

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2楼2017-08-13 20:54:20

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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

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专业: 高分子助剂

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

直接法测量有：螺旋测微法、精密轮廓扫描法（台阶法）、扫描电子显微法（SEM）
常见的间接法测量有：称量法、电容法、电阻法、等厚干涉法、变角干涉法、椭圆偏振法。

3楼2017-08-13 21:03:52

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萧行予

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引用回帖:

2楼: Originally posted by mybeike at 2017-08-13 20:54:20
晶振片可以对薄膜材料厚度实时监控

谢谢

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5楼2017-08-21 09:12:14

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