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萧行予

新虫 (小有名气)

[求助] 薄膜材料 已有2人参与

求可以薄膜生长过程中可以不断测量厚度的办法

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1楼 2017-08-13 19:46:23
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匿名

用户注销 (正式写手)
本帖仅楼主可见
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2楼2017-08-13 20:54:20
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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水，利万物而不争

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
直接法测量有：螺旋测微法、精密轮廓扫描法（台阶法）、扫描电子显微法（SEM）
常见的间接法测量有：称量法、电容法、电阻法、等厚干涉法、变角干涉法、椭圆偏振法。
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3楼2017-08-13 21:03:52
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kangye_1989

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
薄膜生长系统安装REED系统，原位测量
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4楼2017-08-15 08:26:40
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萧行予

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by mybeike at 2017-08-13 20:54:20
晶振片可以对薄膜材料厚度实时监控

谢谢

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5楼2017-08-21 09:12:14
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