24小时热门版块排行榜    

查看: 557  |  回复: 3

无敌小番茄

新虫 (小有名气)

[求助] 半导体晶片的磨抛工艺

想问一下半导体晶片应该怎么磨抛,我们采用的是NaoH腐蚀,但是最后晶片上部总是油腻腻的,求解

发自小木虫IOS客户端
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

随意就好?

新虫 (小有名气)

半导体晶片有很多种,抛光和研磨用的辅料都是不同的,具体是哪种材质,硅片还是别的什么

发自小木虫IOS客户端
2楼2017-08-14 00:31:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

无敌小番茄

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 随意就好? at 2017-08-14 00:31:32
半导体晶片有很多种,抛光和研磨用的辅料都是不同的,具体是哪种材质,硅片还是别的什么

是氮化铝晶片,因为磨抛的晶片还要用于后续的研究,所以对杂质控制方面要求较高

发自小木虫IOS客户端
3楼2017-08-14 11:59:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

随意就好?

新虫 (小有名气)

那你们要考虑一下是设备没清洗干净还是辅料的选型有问题了,有的研磨用的辅料是油性的

发自小木虫IOS客户端
4楼2017-08-15 13:17:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 无敌小番茄 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 271材料工程求调剂 +4 .6lL 2026-03-18 4/200 2026-03-18 20:05 by 楤哥
[考研] 材料专硕英一数二306 +4 z1z2z3879 2026-03-18 4/200 2026-03-18 20:00 by 楤哥
[考研] 一志愿武理材料305分求调剂 +5 想上岸的鲤鱼 2026-03-18 6/300 2026-03-18 17:53 by 无际的草原
[考研] 求材料调剂 +7 隔壁陈先生 2026-03-12 7/350 2026-03-18 16:14 by 枫桥ZL
[考研] 085600材料与化工 +5 安全上岸! 2026-03-16 5/250 2026-03-18 15:33 by cmz0325
[教师之家] 焦虑 +8 水冰月月野兔 2026-03-13 12/600 2026-03-18 15:27 by 咪呜喵呜
[考研] 311求调剂 +11 冬十三 2026-03-15 12/600 2026-03-18 14:36 by 星空星月
[考研] 331求调剂(0703有机化学 +7 ZY-05 2026-03-13 8/400 2026-03-18 14:13 by 007_lilei
[考研] 304求调剂 +12 小熊joy 2026-03-14 13/650 2026-03-18 12:34 by Linda Hu
[考研] 0703化学调剂 +4 pupcoco 2026-03-17 7/350 2026-03-18 12:14 by djl2006
[考研] 293求调剂 +11 zjl的号 2026-03-16 16/800 2026-03-18 08:10 by zhukairuo
[考研] 268求调剂 +7 好运连绵不绝 2026-03-12 8/400 2026-03-17 20:28 by xilongliang
[考研] 材料工程专硕调剂 +5 204818@lcx 2026-03-17 5/250 2026-03-17 17:27 by Little-xue
[考研] 考研化学学硕调剂,一志愿985 +4 张vvvv 2026-03-15 6/300 2026-03-17 17:15 by ruiyingmiao
[考研] 308求调剂 +4 是Lupa啊 2026-03-16 4/200 2026-03-17 17:12 by ruiyingmiao
[考研] 机械专硕调剂 +3 笨笨兔子 2026-03-12 3/150 2026-03-15 20:02 by 栗子粥?
[考研] 一志愿哈工大材料324分求调剂 +5 闫旭东 2026-03-14 5/250 2026-03-14 14:53 by 木瓜膏
[考研] 0856材料与化工301求调剂 +5 奕束光 2026-03-13 5/250 2026-03-13 22:00 by 星空星月
[考博] 福州大学杨黄浩课题组招收2026年专业学位博士研究生,2026.03.20截止 +3 Xiangyu_ou 2026-03-12 3/150 2026-03-13 09:36 by duanwu655
[考博] 26读博 +4 Rui135246 2026-03-12 10/500 2026-03-13 07:15 by gaobiao
信息提示
请填处理意见