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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 硅片上加工1.5mm深的孔
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elvassorelab

新虫 (初入文坛)

[求助] 硅片上加工1.5mm深的孔 已有5人参与

请问有没有哪种方法可以在硅片上加工至少1.5mm深的圆孔？孔的直径大概是6mm.
SU8肯定做不到对吗？
深硅刻蚀呢？
还有其它的方法吗？
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1楼 2017-08-08 13:40:00
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
建议试试使用激光加工手段在硅片上进行打孔。
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2楼2017-08-08 14:06:30
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普通回帖

elvassorelab

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2017-08-08 14:06:30
建议试试使用激光加工手段在硅片上进行打孔。

谢谢您的回复。我们想做的不是穿透的孔，而是凹孔。刚才查了一下发现一般半导体硅片本身的厚度也就0.6mm左右，连1mm都不到。
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3楼2017-08-08 14:31:51
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
3楼: Originally posted by elvassorelab at 2017-08-08 14:31:51
谢谢您的回复。我们想做的不是穿透的孔，而是凹孔。刚才查了一下发现一般半导体硅片本身的厚度也就0.6mm左右，连1mm都不到。...

这么薄的硅片肯定不能用机械的方法加工孔。
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4楼2017-08-08 14:42:44
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13813921817

木虫之王 (文坛精英)

上善若水，利万物而不争

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不是穿透的孔，而是凹孔一样可以激光刻的。大的图文店都有。
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5楼2017-08-08 20:16:31
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quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
普通wafer 0.5mm, 也有厚的，可以湿法腐蚀（KOH）
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6楼2017-08-09 01:30:07
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highpy

木虫 (知名作家)
引用回帖:
3楼: Originally posted by elvassorelab at 2017-08-08 14:31:51
谢谢您的回复。我们想做的不是穿透的孔，而是凹孔。刚才查了一下发现一般半导体硅片本身的厚度也就0.6mm左右，连1mm都不到。...

一般500微米

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7楼2017-08-09 01:59:02
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天天搬砖

新虫 (初入文坛)
特种加工～话说专业的事给专业的人做。找个硅片加工厂什么的呗。

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8楼2017-08-09 06:03:03
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elvassorelab

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 天天搬砖 at 2017-08-09 06:03:03
特种加工～话说专业的事给专业的人做。找个硅片加工厂什么的呗。

就是想找专业的人做啊，我们没用这个条件。但是至少想知道能用什么方法加工再有针对性地去找，要不找到的都只能用光刻胶或深硅刻蚀。
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9楼2017-08-09 09:50:23
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榴莲菠萝蜜

新虫 (小有名气)
深刻蚀是可以的，

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10楼2017-08-09 09:52:11
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