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硅片上加工1.5mm深的孔 已有5人参与
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请问有没有哪种方法可以在硅片上加工至少1.5mm深的圆孔？孔的直径大概是6mm. SU8肯定做不到对吗？ 深硅刻蚀呢？ 还有其它的方法吗？ |
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 薄膜材料和器件制备 |
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