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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 硅片上加工1.5mm深的孔
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榴莲菠萝蜜

新虫 (小有名气)
深刻蚀有一个宽深比极限，

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11楼2017-08-09 09:53:09
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libindragon

新虫 (小有名气)
微型金刚石砂轮磨孔也可以试一下

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12楼2017-08-09 10:11:28
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龙行天下

新虫 (小有名气)
掩模法离子刻蚀

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13楼2017-08-09 10:23:37
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GinKooMEMS

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
我们的技术可以满足你的要求，请站内联系我。
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14楼2017-08-09 10:32:08
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嗜血之翼

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
随便找家MEMS加工的技术上问题不大，不过正如你说，那些加工单位有的硅片一般确实是300、400、500微米的，但是我记得有厚的（如果我没记错的话），不过话又说回来，你6mm，1.5mm这个尺寸什么东西要用硅？这个尺寸可以精密机械加工了吧，我们这边0.3mm的孔都可以机加工，当然如果你一定是硅才行就当我没说、、、
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Under Pressure - Queen&David Bowie
15楼2017-08-09 13:29:15
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