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joe_gege

新虫 (初入文坛)

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专业: 材料物理化学

[求助] 磁控溅射已有2人参与

辉光放电有时稳定，有时偶尔跳动一下，有时连续跳动，请问为什么呢

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1楼 2017-08-08 11:30:56

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perry_ping

新虫 (职业作家)

应助: 8 (幼儿园)
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注册: 2014-12-30
专业: 无机合成和制备化学

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

可能靶材用完了，也可能靶材短路了，

赞一下(1人)

2楼2017-08-08 14:16:30

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091820053

禁虫 (知名作家)

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
joe_gege: 金币+5, ★★★很有帮助 2017-08-15 20:27:36

本帖内容被屏蔽

3楼2017-08-08 14:55:47

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joe_gege

新虫 (初入文坛)

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性别: GG
专业: 材料物理化学

引用回帖:

2楼: Originally posted by perry_ping at 2017-08-08 14:16:30
可能靶材用完了，也可能靶材短路了，

谢谢，没短路，更没用完

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4楼2017-08-15 20:24:52

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joe_gege

新虫 (初入文坛)

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专业: 材料物理化学

引用回帖:

3楼: Originally posted by 091820053 at 2017-08-08 14:55:47
直流溅射可能靶材电阻不均匀

怎么会这样啊？

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5楼2017-08-15 20:25:28

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091820053

禁虫 (知名作家)

本帖内容被屏蔽

6楼2017-08-15 21:33:31

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躲好了吗

新虫 (初入文坛)

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专业: 金属材料的制备科学与跨学

换下别的靶材试试，或者看下功率气体分压稳不稳定，稳定的情况下加Ar

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7楼2017-10-05 12:22:01

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LAnza_lw

银虫 (小有名气)

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性别: GG
专业: 金属材料表面科学与工程

辉光放电，在石英管中吗？

PVD，磁控溅射，金属镀膜，研发工程师

8楼2017-11-27 10:49:41

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