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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射
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joe_gege

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射 已有2人参与

辉光放电有时稳定，有时偶尔跳动一下，有时连续跳动，请问为什么呢

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1楼 2017-08-08 11:30:56
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perry_ping

新虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可能靶材用完了，也可能靶材短路了，
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2楼2017-08-08 14:16:30
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091820053

禁虫 (知名作家)
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
joe_gege: 金币+5, ★★★很有帮助 2017-08-15 20:27:36
本帖内容被屏蔽
3楼2017-08-08 14:55:47
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joe_gege

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by perry_ping at 2017-08-08 14:16:30
可能靶材用完了，也可能靶材短路了，

谢谢，没短路，更没用完

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4楼2017-08-15 20:24:52
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joe_gege

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 091820053 at 2017-08-08 14:55:47
直流溅射可能靶材电阻不均匀

怎么会这样啊？

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5楼2017-08-15 20:25:28
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
6楼2017-08-15 21:33:31
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躲好了吗

新虫 (初入文坛)
换下别的靶材试试，或者看下功率气体分压稳不稳定，稳定的情况下加Ar

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7楼2017-10-05 12:22:01
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LAnza_lw

银虫 (小有名气)
辉光放电，在石英管中吗？
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PVD，磁控溅射，金属镀膜，研发工程师
8楼2017-11-27 10:49:41
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