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john3069铜虫 (小有名气)
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[求助]
请问深硅刻槽的剖面应该如何得到和处理？有什么地方能进行这种加工吗？
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| 在硅上刻了深宽比比较大的槽，想观察刻槽的剖面形状，查到说要对硅片进行解理、磨角、缀饰等等，但具体的工艺步骤是怎么样的，有做过的吗？或者有没有什么地方能进行这种剖面处理的，还请介绍一下。 |
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john3069
铜虫 (小有名气)
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