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john3069

铜虫 (小有名气)

[求助] 请问深硅刻槽的剖面应该如何得到和处理?有什么地方能进行这种加工吗?

在硅上刻了深宽比比较大的槽,想观察刻槽的剖面形状,查到说要对硅片进行解理、磨角、缀饰等等,但具体的工艺步骤是怎么样的,有做过的吗?或者有没有什么地方能进行这种剖面处理的,还请介绍一下。
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买酒白云边

金虫 (知名作家)

人造金刚石及其制品And周边设备
2楼2017-07-30 04:16:11
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john3069

铜虫 (小有名气)

冥思苦想,只盼有缘人
3楼2017-07-31 19:24:31
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4楼2017-08-19 20:49:28
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5楼2017-08-20 15:17:02
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6楼2017-08-20 18:24:55
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pzypdl: 金币-200, 违规存档, 专业版块只限技术交流,禁止多次表情回复 2017-08-23 11:11:15
7楼2017-08-20 23:50:12
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weike658

铜虫 (小有名气)

槽刻蚀一般会有刻蚀生成物的残留,还要考虑你的掩膜是金属,氧化硅还是光刻胶。根据残留物的种类可以考虑细盐酸,丙酮,无水乙醇的清洗

发自小木虫Android客户端
8楼2018-10-18 19:04:18
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