应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 工艺设计 » 请问深硅刻槽的剖面应该如何得到和处理？有什么地方能进行这种加工吗？
81/1返回列表
查看: 867  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

john3069

铜虫 (小有名气)

[求助] 请问深硅刻槽的剖面应该如何得到和处理？有什么地方能进行这种加工吗？

在硅上刻了深宽比比较大的槽，想观察刻槽的剖面形状，查到说要对硅片进行解理、磨角、缀饰等等，但具体的工艺步骤是怎么样的，有做过的吗？或者有没有什么地方能进行这种剖面处理的，还请介绍一下。
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2017-07-29 21:29:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

买酒白云边

金虫 (知名作家)
精雕机撸磨床砂轮撸都可以

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼
人造金刚石及其制品And周边设备
2楼2017-07-30 04:16:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

john3069

铜虫 (小有名气)
冥思苦想，只盼有缘人
赞一下 回复此楼
3楼2017-07-31 19:24:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mfnffaf32
4楼2017-08-19 20:49:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

mawfq81
5楼2017-08-20 15:17:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

epbdn14
6楼2017-08-20 18:24:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

damxp754
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ...
pzypdl: 金币-200, 违规存档, 专业版块只限技术交流，禁止多次表情回复 2017-08-23 11:11:15
7楼2017-08-20 23:50:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

weike658

铜虫 (小有名气)
槽刻蚀一般会有刻蚀生成物的残留，还要考虑你的掩膜是金属，氧化硅还是光刻胶。根据残留物的种类可以考虑细盐酸，丙酮，无水乙醇的清洗

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
8楼2018-10-18 19:04:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 john3069 的主题更新
81/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 博士申请 +6 星…… 2026-05-18 7/350 2026-05-24 22:45 by 预约这个秋天
[基金申请] 青B发送上会通知了吗 +5 chemBioBro 2026-05-22 8/400 2026-05-24 22:10 by Max0601
[考博] 化学专业申博 +3 赵子羊 2026-05-23 4/200 2026-05-24 18:10 by 工大学长
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 1rx34o113h 2026-05-23 3/150 2026-05-24 17:41 by 0i3mu4vkjz
[基金申请] 评审有感 +16 popular289 2026-05-18 27/1350 2026-05-24 17:34 by hhs666
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 hvkbtfonbv 2026-05-23 4/200 2026-05-24 17:21 by 75ui6h7z2t
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 hvkbtfonbv 2026-05-23 3/150 2026-05-24 17:10 by 75ui6h7z2t
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 hvkbtfonbv 2026-05-23 3/150 2026-05-24 17:01 by 75ui6h7z2t
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 a2tycdlnq1 2026-05-23 4/200 2026-05-24 16:16 by hhx1yx9evi
[基金申请] 河北省自然科学基金 +6 Peterchao 2026-05-18 9/450 2026-05-24 16:02 by 130067131
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 pmo95bazuy 2026-05-23 8/400 2026-05-24 15:56 by 1uy1ht2y9r
[基金申请] 西安交大新媒学院副院长用撤稿论文结题 +3 bjvtcliu 2026-05-24 5/250 2026-05-24 10:16 by kudofaye
[教师之家] 某211大学教师把个人教师官方主页改成:我跑了我跑了我跑了!官宣跑路！ +4 zju2000 2026-05-21 5/250 2026-05-24 09:35 by songwz
[考博] 26/27申博自荐 10+4 ZXW0202 2026-05-22 9/450 2026-05-24 08:47 by bjvtcliu
[考博] 博士申请 +3 焦晓明 2026-05-21 3/150 2026-05-23 11:26 by mlc840311
[论文投稿] 投稿求助，期刊 +4 希冀，有书读 2026-05-20 8/400 2026-05-22 10:16 by 希冀，有书读
[文学芳草园] 献血感触 +7 呀呀好傻 2026-05-19 13/650 2026-05-21 20:15 by 呀呀好傻
[基金申请] 国自然上会要求 +7 无名者登山 2026-05-18 11/550 2026-05-21 15:50 by draco1987
[基金申请] 提交了我也来说说感想 +9 fummck 2026-05-20 10/500 2026-05-21 14:17 by draco1987
[有机交流] 反应很差，大量原料没有反应 5+3 Mr.Zot 2026-05-19 8/400 2026-05-20 22:19 by Equinoxhua
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭