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llj1982

至尊木虫 (著名写手)

[交流] 做SEM对样品有什么要求?

想用SEM表征纳米材料,不晓得低于10nm的材料用SEM效果怎样?
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zbfountain

金虫 (正式写手)


kqy920(金币+1):谢谢应助!
要是场发射扫描(FESEM),10nm的东西问题不大。
但是制样时要镀薄一点,最多只能镀3nm,要不然就影响你都形貌了。
普通扫描一般达不到这么高都分辨率,因为电子源质量不够高。所以看这么小的东西aberration 会很严重。
3楼2009-01-28 15:20:31
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